Tato diplomová práce se zabývá syntézou amorfních chalkogenidů a přípravou jejich tenkých vrstev. Syntetizováno bylo šest skel systému Ge-S-Se a byly připraveny jejich tenké vrstvy metodou vakuového napařování. EDX analýzou bylo studováno složení deponovaných vrstev. Byl studován vliv expozice a temperace na jejich strukturu a optické vlastnosti s využitím Ramanovy a UV/VIS spektroskopie. Dále byl studován vliv prehistorie tenkých vrstev na jejich chemickou odolnost vůči alkalickým leptacím lázním.
