Tato diplomová práce se zabývá studiem fotoindukovaných změn tenkých amorfních vrstev systému As2S3 a GeSbS připravených metodou vakuového napařování a tenkých vzorků fosfátových a telluričitých skel. Byl studován vliv polychromatického záření na optické vlastnosti a strukturu tenkých vzorků. Tenké vrstvy byly exponovány ultra-fialovým zářením z vakuové ultra-fialové oblasti (VUV) o vlnové délce 120 170 nm. Fotoindukované změny optických vlastností byly studovány UV/VIS spektroskopií a elipsometrií.