Zobrazit minimální záznam
dc.contributor.author |
Ohlidal, Ivan
|
cze |
dc.contributor.author |
Vohanka, Jiri
|
cze |
dc.contributor.author |
Mistrík, Jan
|
cze |
dc.contributor.author |
Cermak, Martin
|
cze |
dc.contributor.author |
Vizda, Frantisek
|
cze |
dc.contributor.author |
Franta, Daniel
|
cze |
dc.date.accessioned |
2020-03-19T13:00:28Z |
|
dc.date.available |
2020-03-19T13:00:28Z |
|
dc.date.issued |
2019 |
eng |
dc.identifier.issn |
0040-6090 |
eng |
dc.identifier.uri |
https://hdl.handle.net/10195/74990 |
|
dc.description.abstract |
A multiple-beam interference model is used to derive approximate formulae for the reflection and transmission coefficients of inhomogeneous thin films exhibiting large gradients of refractive index profiles. It is shown that these formulae are constituted by series containing the Wentzel-Kramers-Brillouin-Jeffreys term and correction terms with increasing order corresponding to number of considered internal reflections inside the films. A numerical analysis enabling us to show the influence of a degree of inhomogeneity on spectral dependencies of reflectance and ellipsometric parameters of inhomogeneous films is performed. Advantages and disadvantages of our approach compared with other approximate approaches are discussed. The optical characterization of a selected non-stoichiometric silicon nitride film prepared by reactive magnetron sputtering onto silicon single crystal substrate is performed for illustration of using our formulae in practice. |
eng |
dc.format |
"137189-1"-"137189-17" |
eng |
dc.language.iso |
eng |
eng |
dc.publisher |
Elsevier |
|
dc.relation.ispartof |
Thin Solid Films, volume 692, issue: December |
eng |
dc.rights |
pouze v rámci univerzity |
cze |
dc.subject |
Reflectance |
eng |
dc.subject |
Transmittance |
eng |
dc.subject |
Ellipsometric parameters |
eng |
dc.subject |
Inhomogenous thin films |
eng |
dc.subject |
Reflectance |
cze |
dc.subject |
Optická propustnost |
cze |
dc.subject |
Elipsometrické parametry |
cze |
dc.subject |
nehomogenní tenké vrstvy |
cze |
dc.title |
Approximations of reflection and transmission coefficients of inhomogeneous thin films based on multiple-beam interference model |
eng |
dc.title.alternative |
Aproximace reflexnich a transmisnich koeficientu tenkych vrstev na zaklade modelu nekolikanasobnych odrazu |
cze |
dc.type |
article |
eng |
dc.description.abstract-translated |
Interferenční model s více paprsky se používá k odvození přibližných vzorců pro koeficienty odrazu a transmise nehomogenních tenkých filmů vykazujících velké gradienty profilů indexu lomu. Je ukázáno, že tyto vzorce jsou tvořeny řadami obsahujícími termín Wentzel-Kramers-Brillouin-Jeffreys a korekční termíny s rostoucím pořadím odpovídajícím počtu uvažovaných vnitřních odrazů uvnitř filmů. Provádí se numerická analýza, která nám umožní ukázat vliv stupně nehomogenity na spektrální závislosti odrazivosti a elipsometrické parametry nehomogenních filmů. Jsou diskutovány výhody a nevýhody našeho přístupu ve srovnání s jinými přibližnými přístupy. Optická charakterizace vybraného nestechiometrického filmu z nitridu křemíku připraveného reaktivním magnetronovým naprašováním na silikonový monokrystalový substrát se provádí pro ilustraci použití našich vzorců v praxi. |
cze |
dc.peerreviewed |
yes |
eng |
dc.publicationstatus |
published version |
eng |
dc.identifier.doi |
10.1016/j.tsf.2019.03.001 |
eng |
dc.relation.publisherversion |
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609019301385 |
eng |
dc.identifier.wos |
000499678700004 |
|
dc.identifier.obd |
39883461 |
eng |
Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích
Zobrazit minimální záznam
|
Vyhledávání
Procházet
-
Vše v Digitální knihovně
-
Tato kolekce
Můj účet
|